Bundespatentgericht:
Beschluss vom 2. Juli 2004
Aktenzeichen: 14 W (pat) 321/02

Tenor

Das Patent 41 06 513 wird widerrufen.

Gründe

I Die Erteilung des Patents 41 06 513 mit der Bezeichnung

"Verfahren zur Regelung eines reaktiven Sputterprozesses und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens"

ist am 13. Juni 2002 veröffentlicht worden.

Das Patent umfasst (abweichend von der Bezeichnung nur) 6 Verfahrensansprüche, von denen die Ansprüche 1 bis 4 wie folgt lauten:

"1. Verfahren zur Regelung eines reaktiven Sputterprozesses, bei dem der durch den Wert einer der beiden die elektrische Leistungsaufnahme des reaktiven Sputterprozesses bestimmenden Faktoren Kathodenspannung oder Arbeitsstromstärke definierte Arbeitspunkt auf der physikalischen Kennlinie Kathodenspannung oder Arbeitsstromstärke über dem Reaktivgasfluß der Sputteranlage durch Dosierung des in die Prozesskammer eingeleiteten Reaktivgases, beispielsweise O2, eingestellt und konstant oder annähernd konstant gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, daß bei reaktiven Sputterprozessen, bei denen die aufgesputterten Schichten chemische Verbindungen, z.B. Al2O3, SiO2, umfassen, die eine Sekundärelektronenausbeute haben, die höher ist als die der metallischen Komponenten, z.B. Al, Si, der chemischen Verbindungen, eine Regelcharakteristik bei der Reaktivgasdosierung angewendet wird, die durch eine abfallende Kathodenspannung-Reaktivgasfluß-Regelkennlinie charakterisiert wird, so dass für die Regelkennlinie eine abfallende Kathodenspannung mit zunehmendem Reaktivgasfluß vorgegeben wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei reaktiven Sputterprozessen, bei denen die aufgesputterten Schichten chemische Verbindungen, z.B. Al2O3, SiO2, umfassen, die eine Sekundärelektronenausbeute haben, die höher ist als die der metallischen Komponenten, z.B. Al, Si, der chemischen Verbindungen, eine Regelcharakteristik bei der Reaktivgasdosierung angewendet wird, die durch eine steigende Arbeitsstromstärke-Reaktivgasfluß-Regelkennlinie charakterisiert wird, sodaß für die Regelkennlinie eine steigende Arbeitsstromstärke mit zunehmendem Reaktivgasfluß vorgegeben wird.

3. Verfahren zur Regelung eines reaktiven Sputterprozesses, bei dem der durch den Wert einer der bei den die elektrische Leistungsaufnahme des reaktiven Sputterprozesses bestimmenden Faktoren Kathodenspannung oder Arbeitsstromstärke definierte Arbeitspunkt auf der physikalischen Kennlinie Kathodenspannung oder Arbeitsstromstärke über dem Reaktivgasfluß der Sputteranlage durch Dosierung des in die Prozesskammer eingeleiteten Reaktivgases, beispielsweise O2, eingestellt und konstant oder annähernd konstant gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, daß bei reaktiven Sputterprozessen, bei denen die aufgesputterten Schichten chemische Verbindungen, z. B. CrO umfassen, die eine Sekundärelektronenausbeute haben, die kleiner ist als die der metallischen Komponenten, z.B. Cr, der chemischen Verbindungen, eine Regelcharakteristik bei der Reaktivgasdosierung angewendet wird, die durch eine steigende Kathodenspannung-Reaktivgasfluß-Regelkennlinie charakterisiert wird, sodaß für die Regelkennlinie eine steigende Kathodenspannung mit zunehmendem Reaktivgasfluß vorgegeben wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei reaktiven Sputterprozessen, bei denen die aufgesputterten Schichten chemische Verbindungen, z. B. CrO, umfassen, die eine Sekundärelektronenausbeute haben, die kleiner ist als die der metallischen Komponenten, z. B. Cr, der chemischen Verbindungen, eine Regelcharakteristik bei der Reaktivgasdosierung angewendet wird, die durch eine abfallende Arbeitsstromstärke-Reaktivgasfluß-Regelkennlinie charakterisiert wird, sodaß für die Regelkennlinie eine fallende Arbeitsstromstärke mit zunehmendem Reaktivgasfluß vorgegeben wird."

Zum Wortlaut der erteilten Ansprüche 5 und 6, welche besondere Ausführungsformen der Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 betreffen, wird auf die Streitpatentschrift verwiesen.

Gegen dieses Patent ist am 13. September 2002 Einspruch erhoben worden. Die Einsprechende macht die Widerrufsgründe mangelnde ursprüngliche Offenbarung (§ 21 Abs 1 Nr 4 PatG) sowie mangelnde Patentfähigkeit ((§ 21 Abs 1 Nr 1 PatG) gegenüber dem ua durch

(3) DD 146 306 belegten Stand der Technik geltend.

Die Einsprechende beantragt, das Patent zu widerrufen.

Die ordnungsgemäß geladene Patentinhaberin ist - wie angekündigt - nicht zur mündlichen Verhandlung erschienen und hat gebeten, auf Basis der ausgetauschten Schriftsätze zu entscheiden.

Schriftsätzlich hat sie beantragt, das Streitpatent im erteilten Umfang aufrechtzuerhalten.

Hierzu hat sie vorgetragen, die Entgegenhaltung D3 sei bereits im Prüfungsverfahren in Betracht gezogen worden und könne weder für sich noch in Verbindung mit weiteren Entgegenhaltungen die Patentfähigkeit in Frage stellen. Die auch in den ursprünglichen Unterlagen offenbarte Lehre des Streitpatents basiere auf der Erkenntnis, den Reaktivgasfluß genau entgegen der aus dem Kennlinienbereich zu erwartenden Richtung zu regeln, um den Arbeitspunkt des reaktiven Sputtersystems einzuhalten. Diese Erkenntnis sei aus dem entgegengehaltenen Stand der Technik nicht abzuleiten.

Wegen weiterer Einzelheiten des schriftlichen Vorbringens der Beteiligten wird auf den Akteninhalt verwiesen.

II 1. Der Einspruch ist frist- und formgerecht erhoben und mit Gründen versehen. Er ist somit zulässig und führt zum Widerruf des Patents.

2. Der Widerrufsgrund der unzulässigen Erweiterung (§ 21 Abs 1 Nr 4 PatG) liegt nicht vor.

Der Einwand der Einsprechenden, dass Arbeitsspannung (Entladespannung) und Kathodenspannung nur dann den gleichen Zahlenwert aufweisen, wenn Anode und Substrat(träger) bzw Gehäuse auf dem gleichen Potential liegen, ist zwar berechtigt. Die Kathodenspannung ist aber schon in den ursprünglichen Unterlagen mehrfach als Bezugsgröße genannt (zB Anspruch 1 Zeile 6, Ansprüche 9 u 11, S 11 Abs 3, S 12 Abs 2, S 13 Abs 5, S 14 Abs 2, S 16 Abs 4, S 18 Abs 3). Da ferner kein Zahlenbereich vorgegeben wird, würde sich am Verlauf der in den Fig. 2 und 3 gezeigten Kurven und damit an der Lehre des Streitpatents überhaupt nichts ändern, wenn die Kathodenspannung als Ordinate durch die gegebenenfalls um einen Differenzbetrag abweichende Arbeitsspannung (Entladespannung) ersetzt würde.

3. Als nächstgelegener Stand der Technik ist das aus (D3) bekannte Verfahren zur Regelung eines reaktiven Sputterprozesses anzusehen, welches sämtliche Maßnahmen des Oberbegriffs der Ansprüche 1 und 3 des Streitpatents aufweist (vgl Ansprüche 1 bis 4 iVm Brückenabs S 3/4).

Das einzige Ausführungsbeispiel ist gemäß Figur und Beschreibung durch eine abfallende Arbeitsstromstärke/ Reaktivgas-Partialdruck-Regelkennlinie charakterisiert, wodurch eine fallende Arbeitsstromstärke mit zunehmendem Reaktivgasfluß (Gaseinlaß des Reaktionsgases) vorgegeben ist.

Ob das Verfahren nach dem erteilten Anspruch 4 demgegenüber neu ist, kann anhand der vorliegenden Informationen nicht zweifelsfrei entschieden werden. Diese ermöglichen nämlich keine Feststellung, ob das im Ausführungsbeispiel eingesetzte Titan eine metallische Komponente iSd Anspruchs 4 ist, dessen Oxid eine kleinere Sekundärelektronenausbeute als das Element hat.

Die Frage der Neuheit des Verfahrens nach Anspruch 4 kann jedoch dahinstehen, da dieses Verfahren jedenfalls nicht auf erfinderischer Tätigkeit beruht. Wird nämlich im Ausführungsbeispiel der D3 das Metall Titan durch das (in Anspruch 6 und auf S 4 Abs 5) als in vergleichbarer Weise einzusetzende Metall Chrom ersetzt, so ergibt sich unmittelbar ein Verfahren mit sämtlichen Merkmalen des Anspruchs 4. Chrom muß nämlich schon gemäß dem Wortlaut dieses Anspruchs das für die metallische Komponente festgelegte Kriterium zwangsläufig erfüllen. Daß in D3 dieses Kriterium - kleinere Sekundärausbeute der Verbindung gegenüber dem Metall - nicht aufgeführt ist, ist entgegen der Auffassung der Patentinhaberin unbeachtlich, da es sich um eine inhärente Eigenschaft des Metalls Chrom handelt.

Auch das Argument der Patentinhaberin, die Entgegenhaltung (D3) könne für die beiden beispielhaft genannten Metalle Aluminium und Chrom nicht gleichzeitig zwei unterschiedliche Regelkennlinien nahelegen, geht fehl. Setzt nämlich der Fachmann in dem in Rede stehenden Ausführungsbeispiel der D3 ein Aluminium-Target ein, so wird sich - nach den Angaben in der Streitpatentschrift zwangsläufig - um den durch die Arbeitsstromstärke definierten Arbeitspunktes mit steigendem Reaktivgasfluß eine Erhöhung der Arbeitsstromstärke einstellen. Diesem - möglicherweise nicht ohne weiteres zu erwartenden - experimentellen Befund kann er, ohne erfinderisch tätig werden zu müssen, durch entsprechende Regelung des Reaktivgasflusses Rechnung tragen. Damit ist es ihm im Falle eines Aluminium-Targets nahegelegt, nach Maßgabe des erteilten Anspruchs 2 zu verfahren.

Der Senat verkennt nicht, dass die Erkenntnis der Patentinhaberin, die Regelung des Reaktivgasflusses zur Einstellung des Arbeitspunktes sei in Abhängigkeit davon, ob die Sekundärelektronenausbeute einer chemischen Verbindung höher oder niedriger ist als die ihrer metallischen Komponente, in unterschiedlicher Richtung vorzunehmen, möglicherweise als solche aus dem Stand der Technik nicht vorhersehbar ist.

Dies kann aber nichts daran ändern, daß mit den konkreten technischen Maßnahmen der erteilten Ansprüche 2 und 4, die sich - wie ausgeführt - in naheliegender Weise aus dem Stand der Technik ergeben, möglicherweise unbeabsichtigt, aber zwangsläufig von dieser Erkenntnis Gebrauch gemacht wird.

4. Nach alledem sind die Ansprüche 2 und 4 wegen fehlender Patentfähigkeit nicht rechtsbeständig. Mit ihnen fallen die Ansprüche 1, 3, 5 und 6, da über den Antrag der Patentinhaberin nicht in Teilen entschieden werden kann.

Schröder Wagner Harrer Schuster Na






BPatG:
Beschluss v. 02.07.2004
Az: 14 W (pat) 321/02


Link zum Urteil:
https://www.admody.com/urteilsdatenbank/fd83f67e0074/BPatG_Beschluss_vom_2-Juli-2004_Az_14-W-pat-321-02


Admody Rechtsanwälte Aktiengesellschaft

Theaterstraße 14 C
30159 Hannover
Deutschland


Tel.: +49 (0) 511 60 49 81 27
Fax: +49 (0) 511 67 43 24 73

service@admody.com
www.admody.com

Kontaktformular
Rückrufbitte



Für Recht.
Für geistiges Eigentum.
Für Schutz vor unlauterem Wettbewerb.
Für Unternehmen.
Für Sie.



Justitia

 


Bundesweite Dienstleistungen:

  • Beratung
  • Gerichtliche Vertretung
  • Außergerichtliche Vertretung
  • Gutachtenerstellung
  • Inkasso

Rechtsgebiete:

Gewerblicher Rechtsschutz

  • Markenrecht
  • Wettbewerbsrecht
  • Domainrecht
  • Lizenzrecht
  • Designrecht
  • Urheberrecht
  • Patentrecht
  • Lauterkeitsrecht
  • Namensrecht

Handels- & Gesellschaftsrecht

  • Kapitalgesellschaftsrecht
  • Personengesellschaftsrecht
  • Handelsgeschäftsrecht
  • Handelsstandsrecht
  • Internationales Kaufrecht
  • Internationales Gesellschaftsrecht
  • Konzernrecht
  • Umwandlungsrecht
  • Kartellrecht
  • Wirtschaftsrecht

IT-Recht

  • Vertragsrecht der Informationstechnologien
  • Recht des elektronischen Geschäftsverkehrs
  • Immaterialgüterrecht
  • Datenschutzrecht
  • Telekommunikationsrecht


Diese Seite teilen (soziale Medien):

LinkedIn+ Social Share Twitter Social Share Google+ Social Share Facebook Social Share








Admody Rechtsanwälte Aktiengesellschaft



Jetzt Kontakt aufnehmen:

Per Telefon: +49 (0) 511 60 49 81 27.

Per E-Mail: service@admody.com.

Zum Kontaktformular.





Admody Rechtsanwälte Aktiengesellschaft Stamp Logo




Hinweise zur Urteilsdatenbank:
Bitte beachten Sie, dass das in der Urteilsdatenbank veröffentlichte Urteil weder eine rechtliche noch tatsächliche Meinung der Admody Rechtsanwälte Aktiengesellschaft widerspiegelt. Es wird für den Inhalt keine Haftung übernommen, insbesondere kann die Lektüre eines Urteils keine Beratung im Einzelfall ersetzen. Bitte verlassen Sie sich nicht darauf, dass die Entscheidung in der hier angegeben Art und Weise Bestand hat oder von anderen Gerichten in ähnlicher Weise entschieden werden würde.
Lizenzhinweis: Enthält Daten von O‌p‌e‌n‌j‌u‌r, die unter der Open Database License (ODbL) veröffentlicht wurden.
Sollten Sie sich auf die angegebene Entscheidung verlassen wollen, so bitten Sie das angegebene Gericht um die Übersendung einer Kopie oder schlagen in zitierfähigen Werken diese Entscheidung nach.
Durch die Bereitstellung einer Entscheidung wird weder ein Mandatsverhähltnis begründet noch angebahnt.
Sollten Sie eine rechtliche Beratung und/oder eine Ersteinschätzung Ihres Falles wünschen, zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren.


"Admody" und das Admody-Logo sind registrierte Marken von
Rechtsanwalt Sebastian Höhne, LL.M., LL.M.

29.11.2021 - 21:53 Uhr

Tag-Cloud:
Rechtsanwalt Domainrecht - Rechtsanwalt Internetrecht - Rechtsanwalt Markenrecht - Rechtsanwalt Medienrecht - Rechtsanwalt Wettbewerbsrecht - Mitbewerber abmahnen lassen - PayPal Konto gesperrt


Aus der Urteilsdatenbank
LG Dortmund, Urteil vom 15. Januar 2016, Az.: 3 O 610/15 - BPatG, Beschluss vom 5. März 2009, Az.: 30 W (pat) 81/06 - OLG Hamm, Beschluss vom 16. Mai 2011, Az.: I-8 AktG 1/11 - BGH, Beschluss vom 4. Februar 2016, Az.: AnwZ (Brfg) 59/15 - OLG Düsseldorf, Urteil vom 25. März 2010, Az.: I-2 U 61/08 - OLG Düsseldorf, Urteil vom 31. Oktober 2006, Az.: I-23 U 30/06 - OLG München, Urteil vom 17. Juni 2008, Az.: 5St RR 28/08 - BPatG, Beschluss vom 8. März 2004, Az.: 14 W (pat) 59/02 - BPatG, Beschluss vom 18. Januar 2007, Az.: 21 W (pat) 17/05 - BPatG, Beschluss vom 26. Oktober 2006, Az.: 10 W (pat) 45/05